Расчет проводимостей и выбор элементов высоковакуумной магистрали

1.3 Расчет проводимостей и выбор элементов высоковакуумной магистрали

 

Расчет проводимости шевронно-конической ловушки

, где - удельная проводимость ловушки

- (литер. 2, стр. 258, табл. 11.1),

- площадь входного отверстия ловушки

,

- задаваемый размер.

.

Проверим режим течения в ловушке:

давление в ловушке:

, где - давление на входе в насос ,

 – быстрота действия насоса,

.

Выражение  – режим молекулярный.

Расчет проводимости трубопровода (е)

Задаем диаметр трубопровода .

Проводимость участка

. [литер. 2, стр. 41, формула. 3.58]

Найдём отношение

 [литер. 2, стр. 41, табл. 3.3],

.

Проверим режим течения в трубопроводе (е):

давление в трубопроводе:

.

Выражение  – режим молекулярный.

Проводимость затвора

Выбираем затвор РСУ 1 А -200 [литер. 2, стр. 109, табл. 7.1] с проходным диаметром  и проводимостью .

Проверим режим течения в затворе

давление в затворе:

.

Выражение  – режим молекулярный.

Расчет проводимости трубопровода (д)

Задаем диаметр трубопровода .

Проводимость участка

.

Найдём отношение

 [литер. 2, стр. 41, табл. 3.3],

.

Проверим режим течения в трубопроводе (д):

давление в трубопроводе:

.

Выражение  – режим молекулярный.

Расчёт проводимости вдоль заливной ловушки

Внешний диаметр ловушки , внутренний диаметр ловушки ,

длина ловушки.

Для цилиндрического трубопровода с коаксиальным расположением стержня проводимость вычисляется

.

Проверим режим течения в заливной ловушке

давление в заливной ловушке:

.

Выражение  – режим молекулярный.

Расчет проводимости трубопровода (г)

 

Задаем диаметр трубопровода .

Проводимость участка

.

Найдём отношение

 (литер. 2, стр. 41, табл. 3.3),

.

Проверим режим течения в трубопроводе (г)

давление в трубопроводе:

.

Выражение  – режим молекулярный.

Проводимость затвора

Выберем затвор  [литер. 2, стр. 109, табл. 7.1] такой же как и  с проходным диаметром  и проводимостью .

Проверим режим течения в затворе

давление в затворе:

.

Выражение  – режим молекулярный.

Расчёт проводимости присоединительного фланца (о)

Проводимость фланца

 

 

Проверим режим течения во фланце

давление во фланце:

.

Выражение  – режим молекулярный.

Проводимость:

.

Сечение рабочей камеры

Сечение фланца

.

 

Давление в рабочей камере:

 

- режим молекулярный

 

Расчет общей проводимости высоковакуумной магистрали

 

Время откачки камеры высоковакуумным насосом до предельного давления в камере

 

где  – объем рабочей камеры.

Действительные параметры откачки высоковакуумным насосом

 – эффективная быстрота откачки,

 – фактическое предельное давление в камере.

Оценка пригодности высоковакуумного насоса

 

Проводимость затвора

Выберем затвор ЗППл-63 ([2], стр. 109, табл. 7.1) с проходным диаметром  и проводимостью .

Давление на выходе затвора:

.

Расчет давления в трубопроводе (в) до диафрагмы

Задаем диаметр трубопровода .

Проводимость участка

.

Найдём отношение :

 ([2], стр. 41, табл. 3.3),

.

Проверим режим течения в трубопроводе (в)

давление в трубопроводе:

.

Выражение  – режим молекулярный

Проводимость диафрагмы

 

.

.