6. Общие выводы по обзору и постановка задачи исследования

Обобщая ретроспективный обзор научной, технической и патентной литературы (пп.1.1-1.5, [90, 91, 190]) по опыту использования многокомпонентных конденсированных структур, а также используя результаты фундаментальных исследований в области получения различных конденсационных покрытий [27, 54, 60, 124, 125, 135, 142], можно предложить достаточно наглядную классификацию всех существующих и принципиально возможных методов получения многокомпонентных конденсационных структур (рис.1.1). Основываясь на результатах работ [54, 60, 135], объектом исследования в настоящей работе были слабо фракционирующие системы Cu-Sn, Cu-Sn-Al и Cu-Sn-Ni, получаемые прямым испарением сплавов в вакууме с последующей конденсацией как на неподвижных, так и на вращающиеся подложки. Выбор этих систем обусловлен перспективностью их применения взамен благородных металлов в некоторых изделиях электронной техники [38], простотой реализации процесса в условиях крупносерийного производства с использованием недорогого оборудования [54, 135].

Несмотря на значительные успехи в области разработки технологии получения различных покрытий и функциональных многокомпонентных структур, существует ряд задач, тормозящих широкое внедрение этих технологий в производство. Типичная схема научных исследований и технологических операций, предшествующих промышленной апробации технологий, приведена на рис.1.2.

– концентрационные зависимости электропараметров свеженапыленных пленок и (частично) после температурных воздействий и т.д.

Однако, вопросы влияния условий эксплуатации на характер измерения электропараметров функциональных конденсированных структур, закономерности физико-химического взаимодействия пленок с агрессивными компонентами окружающей среды в литературе практически не рассматриваются. В то же время, если эксплуатация изделий предусматривается без дополнительной защиты от воздействия окружающей среды, данные о физико-химических свойствах конденсатов, о влиянии внешних условий на стабильность эксплуатационных характеристик пленочных элементов устройств становятся едва ли не определяющими при выдаче окончательных рекомендаций по технологии получения функциональных конденсированных структур с учетом возможных условий их эксплуатации.

В этой связи в рамках настоящего исследования нами были поставлены следующие задачи:

– теоретически проанализировать закономерности испарения и конденсации тройных металлических систем;

– разработать методики изучения и оценки изменения электропараметров конденсатов при различных внешних воздействиях;

– изучить закономерности физико-химического поведения конденсированных структур в некоторых жидких средах, определить и табулировать основные параметры процесса электрохимической коррозии как функции состава конденсата;

– изучить изменение электропараметров пленок в модельных и реальных условиях эксплуатации;

– разработать методику оптимизации состава конденсата по различным критериям.

Решение этих задач отражено в пункте 2.5 настоящей работы.


Выводы

1. Анализ экспериментальных и теоретических исследований в области техники получения функциональных покрытий показывает, что ряд сплавов на основе меди могут быть успешно применены в некоторых изделиях электронной техники взамен аналогичных исполнительных элементов из благородных металлов.

2. Существующие методы теоретического анализа закономерностей испарения и конденсации многокомпонентных систем в вакууме (испарение конечных навесок, стационарный режим испарения, взрывное испарение и т.д.) разработаны, как правило, для двухкомпонентных систем. В этой связи, поставлена задача, разработать методику полуколичественного анализа закономерностей формирования покрытий с числом компонентов более двух.

3. Обзор научной и научно-практической литературы показал, что данные о физико-химических свойствах конденсированных структур и их взаимосвязи с основными эксплуатационными параметрами в литературе практически отсутствуют; это затрудняет выбор и оптимизацию технологических параметров нанесения конденсированных структур с заданными свойствами. Поставлена задача на основании комплексных физико-химических исследований разработать научно обоснованные подходы к выбору конкретных многокомпонентных систем с требуемыми функционально-эксплуатационными параметрами.


список использованной литературы

1.  Адгезия и пористость медных ионных покрытий на стали / И.Л. Ройх, О.В. Лебединский, А.И. Костржицкий, С.А. Приббе // Вакуумная металлизация в нар. хоз-ве: Тез. докл. II Межресп. науч.-техн. конф. – Рига, 1977. – С. 51-52.

2.  Алешкин А.А. О возможности получения двухкомпонентных пленок металлов заданного состава испарением из сплава / А.А. Алешкин, Н.Н. Раров // Физика и химия обраб. материалов. – 1970. – № 4. – С.43-48.

3.  Апаев Б.А. Динамика масс в испарителе непрерывного действия / Б.А. Апаев, С.А. Пиковский, Ф.В. Урьяш // Изв. вузов. Радиотехника. – 1971. – ХIV. – С.1778-1780.

4.  Аржаникова И.Н. Влияние режимов испарения и конденсации на состав и структуру пленок сплавов Cu-Mn-Ni / И.Н. Аржаникова, З.В. Кичкина, В.Н. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1978. – Вып. I. – С.3-7.

5.  А.С. 269226. Сплав для изготовления микросхем / А.С. Косенков, Г.И. Павленко, В.П. Попов. – Опубл. в Б.И. 1970, №15, Н 05 к 7/00.

6.  А.С. 434484. Токопроводящий материал / М.С. Блудов, А.А. Слягин. – Опубл. в Б.И., 1974, №24, Н 01 с 1/02.

7.  А.С. 1522780. Способ очистки подложек / О.Н. Соловьева, А.И. Костржицкий, №4221821 / 24-21, заявл. 03.04.87; опубл. 1989.

8.  Бадиленко Г.Ф. Закономерности кинетики испарения и конденсации двойных сплавов // Проблемы спец. электрометаллургии. – 1975. – №2. –
С. 62-66.

9.  Баранник В.П. К вопросу о том, как понимать и измерять коррозию металлов / В.П. Баранник, В.В. Романов // Защита металлов. – 1982. – т.18, №2. – С. 309-314.

10.  Башев В.Ф. Электрические свойства напыленных пленок Al-Cu / В.Ф. Башев, Ф.Ф. Доценко, И.С. Мирошниченко // Физика металлов и металловедение. – 1990. – №11. – С. 201-202.

11.  Белевский В.П. О некоторых особенностях формирования электрических свойств вакуумных конденсатов алюминия, никеля и золота / В.П. Белевский, М.В. Белоус, В.И. Недоступ // Физика и химия обраб. материалов. – 1972. – №4. – С. 30-34.

12.  Беренблит В.М. Коррозия и каталитическая активность сплавов Cu-Ni / В.М. Беренблит, Г.П. Павлова, И.Н. Половинина // Пассивность и коррозия металлов. – 1971. – №3. – С. 54-56.

13.  Бочкарев А.Б. Способ повышения стабильности тонкопленочных резисторов // Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоненты. – 1975. – Вып.6. – С. 42-45.

14.  Бочкарева А.Я. Влияние температуры подложки на некоторые электрические характеристики резистивной пленки // Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоненты. – 1977. – №4. – С. 40-46.

15.  Введенский А.В. Физико-химические и электрохимические аспекты появления границ стойкости твердых растворов, содержащих благородный металл / А.В. Введенский, И.К. Маршаков // Конгр. Защита – 92: Расш. тез. докл. – М., 1992. – т.1, ч.1. – С. 52-54.

16.  Вигдорович В.Н. Влияние легирующих элементов на электрофизические свойства конденсированных пленок сплавов меди / В.Н. Вигдорович, В.И. Попов // Изв. АН СССР. Металл. – 1979. – №6. – С. 47-53.

17.  Влияние легирующих элементов на свойства конденсатов, полученных вакуумным напылением сплавов на основе меди / М.В. Белоус, А.М. Корольков, А.С. Косенков и др. // Физика и химия обраб. материалов. – 1971. – №3. – С. 38-42.

18.  Влияние легирующих элементов на электрофизические свойства пленок на основе меди / М.В. Белоус, А.М. Корольков, Е.В. Лысова и др. // Физика и химия обраб. материалов. – 1975. – №5. – С. 136-138.

19.  Влияние скорости движения среды на коррозию конденсатов Cu-Al в воде / А.Б. Яменко, В.Г. Гречанюк, Б.М. Емельянов и др. – К., 1990. – 14 с., ил. – Деп в УкрНИИНТИ 13.03.90. №487 – ММ90.

20.  Влияние условий эксплуатации на электрофизические свойства вакуумных пленок сплавов на основе меди / И.Л. Ройх, А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1979. – №12. – С. 13-16.

21.  Горшков М.М. Эллипсометрия. – М.: Наука, 1974. – 368 с.

22.  Гринченко В.Т. применение вакуумной плазменно-дуговой металлизации в производстве изделий электронной техники / В.Т. Гринченко, Г.Ф. Ивановский // Электронная пром-сть. – 1980. – №3. – С. 27-29.

23.  Гуйван Э.И. Влияние легирующих элементов и условий напыления металлических пленок на их адгезионные свойства / Э.И. Гуйван, В.И. Попов // Электронная техника. Сер. Технология и орг. пр-ва. – 1971. – №8. –
С. 59-66.

24.  Гусев И.В. О воспроизводимости свойств пленок медных сплавов / И.В. Гусев, С.И. Сидоренко // Вестник Киевск. политехн. ин-та. Сер. Машиностроение. – 1979. – №16. – С. 35-38.

25.  Данилин Б.С. Вакуумные методы получения тонкопленочных элементов интегральных схем (состояние и перспективы развития) // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника. – 1972. – №3. – С. 75-82.

26.  Даркен Л.С. Физическая химия металлов / Л.С. Даркен, Р.В. Гурри. – М.: Металлургиздат, 1960. – 582 с.

27.  Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. – М.: Мир, 1964. – 716 с.

28.  Ермолаев Л.А. Пленочные резисторы и их параметры / Л.А. Ермолаев, А.И. Мочалов, Ю.Д. Чистяков // Сб. науч. тр. по проблемам микроэлектроники. – 1972. – №11. – С. 144-160.

29.  Закономерности формирования структуры и свойств пленок, полученных вакуумным напылением сплавов на основе меди / А.И. Корольков, Е.В. Лысова, Г.И. Павленко, В.И. Попов // Физика и химия обраб. материалов. – 1973. – №3. – С. 58-62.

30.  Испарение сплавов на медной основе в вакууме / Д.И. Лайнер, Л.М. Островская, О.С. Серебрянникова, М.И. Цыпкин // Сб. науч. тр. Гипроцветметобработка. Вып. 42. – М., 1974. – С. 105-112.

31.  Использование сплавов меди для вакуумного напыления пленочных элементов микросхем с высокой проводимостью / А.М. Белоус, А.М. Косенков, Е.В. Лысова и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1972. – №1. – С. 14-19.

32.  Использование сплавов на основе меди для вакуумного напыления пленочных элементов микросхем с высокой проводимостью / М.В. Белоус, А.М. Корольков, А.С. Косенков // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1972. – №2. – С. 14-17.

33.  Исследование анодных оксидных пленок на Cu-Ni сплавах / А.Н. Камкин, А.Д. Давыдов, Цзу-Гу Дин, В.А. Маричев // Электрохимия. – 1999. – т.35, №5. – С. 587-597.

34.  Исследование формирования структуры пленок, полученных испарением в вакууме сплавов медь-никель-марганец / М.В. Белоус, Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова и др. // Физика и химия обраб. материалов. – 1975. – №6. – С. 66-68.

35.  Исследование физико-механических и коррозионных свойств сплавов на основе меди и никеля / С.Д. Пидгайчук, В.И. Григорьев, А.Ф. Сидельник, В.Ф. Цуркан // Физико-хим. механика материалов. – 1993. – т.29. – С. 127-128.

36.  Кабанченко М.П. Влияние легирующих добавок, полученных испарением конечных навесок сплавов на основе меди / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий, Г.М. Иванов // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1981. – №6. – С. 3-6.

37.  Кабанченко М.П. Исследование износоустойчивости контактных площадок переменных непроволочных резисторов // М.П. Кабанченко, Л.П. Кошкина, А.И. Костржицкий // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1982. – №7. – С. 70-72.

38.  Кабанченко М.П. Исследование технологии нанесения и свойств функциональных покрытий из сплавов на основе меди взамен серебрения: Автореф. дис. ... канд. техн. наук. – М.: МИЭТ, 1984. – 23 с.

39.  Кабанченко М.П. Научные и практические аспекты получения термостабильных проводящих покрытий // М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий // Материалы Межд. конф. по электронно-лучевым технологиям. – Варна (НРБ), 1990. – С. 581-586.

40.  Кабанченко М.П. Оптимизация процессов получения пленок с равномерным распределением по толщине на вращающихся подложках / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий // Физика и технология тонких полупроводниковых пленок: Тез. докл. III Всесоюз. конф. – Ив.-Франковск, 1990. – С. 153.

41.  Кабанченко М.П. О стабильности параметров переменных резисторов при длительном хранении / М.П. Кабанченко, Т.В. Кириллова, А.И. Костржицкий. – Деп. в ЦНИИ Электроника 1982, №8095/82. – 24 с. / опубл. в МСР ВИМИ “Техника, технология, экономика”. – 1982. – №12. Серия Т”.

42.  Кабанченко М.П. Получение многокомпонентных токопроводящих покрытий методом испарения конечных навесок в вакууме / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий, И.Л. Ройх // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1979. – Вып.6. – С. 117-124.

43.  Кабанченко М.П. Применение вакуумных пленок сплавов на основе меди в электрических контактах / М.П. Кабанченко, Я.И. Лепих, А.И. Костржицкий // Техника средств связи. Сер. ТПО. – 1980. – №2. – С. 58-62.

44.  Клебанов Ю.Д. Кинетика испарения сплава из одного источника с подпиткой / Физика и химия обраб. материалов. – 1978. – №4. – С. 64-69.

45.  Клебанов Ю.Д. О кинетике испарения сплавов в вакууме / Ю.Д. Клебанов, Т.В. Привезенцева, В.Н. Сумароков // Физика и химия обраб. материалов. – 1977. – №3. – С. 50-54.

46.  Коган В.С. Структура и электрические сопротивления конденсатов хрома, полученных в различных вакуумных условиях / В.С. Коган, Ю.Е. Семененко, А.П. Серюгин // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика и техника высокого вакуума. – 1974. – №1. – С. 56-62.

47.  Колкер Я.Д. Математический анализ точности механической обработки деталей. – К.: Техника, 1976. – 200 с. с илл.

48.  Колотыркин Я.М. Фундаментальные проблемы коррозии и пути их решения. – В кн.: 12-й Менделеевский съезд по общей и прикл. химии”: реф. докл. и сообщ. – М.: Наука, 1981. – №3. – С. 276-277.

49.  Коррозионная стойкость электроконтактных материалов на основе меди в агрессивных средах / Г.Н. Братерская, В.А. Лавренко, С.П. Кохановский, В.В. Коробский // Физико-хим. механика материалов. – 1993. – т.29, №2. – С. 56-60.

50.  Коррозия: Справочник / Под ред. Л.Л. Шрайера; пер. с англ. под ред. В.С. Синявского. – М.: Металлургия, 1981. – 632 с.

51.  Костржицкий А.И. Исследование медных и медно-цинковых вакуумных покрытий на стали: Автореф. дис... канд. техн. наук. – М.: МВМИ, 1978. – 28 с.

52.  Костржицкий А.И. К вопросу о математическом моделировании процессов получения многокомпонентных конденсированных систем // Физика и технология тонких полупроводниковых пленок: Тез. докл. III-й Всесоюз. конф. – Ив.-Франковск, 1990. – С. 31.

53.  Костржицкий А.И. Проблемы и перспективы применения многокомпонентных пленок в изделиях электронной техники // Физика и технология тонких полупроводниковых пленок: Тез. докл. III-й Всесоюз. конф. – Ив.-Франковск, 1990. – С. 12.

54.  Костржицкий А.И. Способы получения и свойства коррозионно-стойких вакуумных многокомпонентных пленок и покрытий: Автореф. дис... докт. техн. наук. – М.: НИФХИ им. Л.Я. Карпова, 1988. – 37 с.

55.  Костржицкий А.И. Формирование многокомпонентных вакуумных покрытий в установках барабанного типа при раздельном испарении компонентов // Физика и химия обраб. материалов. – 1987. – №1. – С. 99-103.

56.  Костржицкий А.И. Закономерности формирования структуры железохромистых покрытий при ионном осаждении / А.И. Костржицкий, О.Ф. Гусарева // Изв. АН СССР. Сер. Металлы. – 1987. – №1. – С. 167-172.

57.  Костржицкий А.И. Моделирование процесса формирования вакуумных пленок и покрытий на вращающихся подложках // А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко // Технология и конструирование электронной аппаратуры. – 1992. – №1. – С. 65.

58.  Костржицкий А.И. Электрофизические свойства пленок, полученных вакуумным испарением сплавов медь-олово и их аналогов // А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1980. – Вып.7. – С. 3-7.

59.  Костржицкий А.И. Анализ равномерности толщины покрытий при конденсации на плоских вращающихся подложках / А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко, Г.М. Редунов. – Киев, УкрНИИНТИ, 1989, №1644 – Ук89. – 38 с.

60.  Костржицкий А.И. Многокомпонентные вакуумные покрытия / А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский. – М.: Машиностроение, 1987. – 208 с.

61.  Костржицкий А.И. Электрохимическое поведение покрытий, полученных методом ионного осаждения в вакууме / А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский, И.Л. Ройх // Защита металлов. – 1979. – №3. – С. 343-345.

62.  Костржицкий А.И. Проблемы использования сплавов меди взамен благородных металлов в тонкопленочных изделиях электронной техники / А.И. Костржицкий, Я.И. Лепих // Техника средств связи. Сер. ТПО. – 1981. – Вып.2. – С. 90-96.

63.  Костржицкий А.И. Исследование вакуумных пленок сплавов на основе меди в системе “пленка – скользящий контакт” / А.И. Костржицкий, Я.И. Лепих, Ю.П. Тризна // Техника средств связи. Сер. ТПО. – 1980. – №3. –
С. 53-57.

64.  Костржицкий А.И. Влияние состава сплавов меди на коррозионную стойкость конденсированных систем / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // ОДАХТ. Наукові праці. Вып.25. – Одесса, 2003. – С. 206-212.

65.  Костржицкий А.И. Закономерности формирования структуры и фазового состава в конденсированных системах медь-олово и их аналогах / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Электронная обраб. материалов. – 2004. – №5. – С. 13-15.

66.  Костржицкий А.И. Исследование поверхностных пленок на медно-оловянных конденсатах в различных условиях эксплуатации / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Электронная обраб. материалов. – 2003. – №5. – С. 22-26.

67.  Костржицкий А.И. Коррозионно-электрохимические свойства конденсированных пленок сплавов меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Физико-хим. механика материалов. – 2004. – №4. – С. 665-669.

68.  Костржицький А.І. Особливості електродних процесів на поверхні конденсатів мідь-олово та їх аналогів у нейтральних середовищах / А.І. Костржицький, О.В. Ляпіна // Фізика і хімія твердого тіла. – 2004. – т.5, №3. – С.564-571.

69.  Костржицкий А.И. Проблемы и перспективы использования тонкопленочных структур из малолегированных сплавов меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Матеріали IХ Межн. конф. “Фізика і технологія тонких плівок”. – Ів.-Франківськ, 2003. – т.2. – С. 219-220.

70.  Костржицкий А.И. Электрохимические свойства пленок сплавов высокой проводимости / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Материалы III-й Межд. науч.-практ. конф. “Динамика науч. исслед.” – Днепропетровск, 2004. – т.63. – С. 24-25.

71.  Костржицкий А.И. Коррозионно-стойкие конденсированные пленки сплавов меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // Материалы 23-й ежегод. межд. конф. “Композиционные материалы в пром-сти”. – Ялта, 2003. – С. 60-61.

72.  Костржицкий А.И. Коррозионно-электрохимическое поведение конденсированных сплавов на основе меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // ОДАХТ. Наукові праці. Вип.26. – Одеса, 2003. – С. 261-269.

73.  Костржицкий А.И. Об опыте использования конденсированных пленок сплавов высокой проводимости взамен благородных металлов / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // Материалы IV ежегод. Пром. конф. “Эффективность реализации науч., ресурсного и пром. потенциала в современных условиях”. – Славское, 2004. – С. 74-75.

74.  Костржицкий А.И. Автоматизированный анализ закономерностей испарения и конденсации двойных металлических систем / А.И. Костржицкий, Г.М. Редунов. – К., 1985. – 22 с. – Деп. в УкрНИИНТИ 25.06.85, №1409. – ММ 85.

75.  Костржицкий А.И. Автоматизированный анализ закономерностей формирования вакуумных покрытий из бинарных сплавов при раздельном испарении компонентов / А.И. Костржицкий, Г.М. Редунов. – К., 1986. – 37 с. – Деп. в УкрНИИНТИ 06.08.86, №1849 – ММ 86.

76.  Костржицкий А.И. Алгоритмическое и программное обеспечение анализа, закономерностей испарения и конденсации сплавов с числом компонентов более двух / А.И. Костржицкий, Г.Н. Редунов, О.Н. Соловьева. – К., 1985. – 29с. – Деп. в УкрНИИНТИ 24.06.85, №1408 – ММ 85.

77.  Костржицкий А.И. Методы испытания металлов и металлических покрытий на коррозионную стойкость / А.И. Костржицкий, А.Д. Соколов, М.П. Кабанченко. – М., 1989. – 67с. Деп. в ЦНИИТЭИ тракторсельмаш 1989, №1151 – ТС 89. Анот. опубл. в библиогр. справочнике – ВИНИТИ РАН “Депонированные научные работы” 1989, №9. – С. 144.

78.  Лайнер Д.И. Активность компонентов в жидких сплавах Cu-Al / Д.И. Лайнер, Л.М. Островская, О.С. Серебрянникова // Изв. АН СССР. Сер. Металлы. – 1976. – №1. – С. 15-18.

79.  Лахтин Ю.М. Металловедение и термическая обработка металлов. – М.: Металлургия, 1977. – 364 с.

80.  Лепих Я.И. Сплавы на основе меди взамен серебра в контактных площадках / Я.И. Лепих, М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий // ЦНИИ Электроника, деп. №9779/ Реф. опубл. в “Сборник НИОКР обзоров, переводов и деп. рукописей”. Сер. РТ. – №21. – 1985.

81.  Ляпина Е.В. Поведение конденсированных сплавов меди в растворе хлористого натрия с добавками Н2О2 / ОДАХТ. Наукові праці. Вип.27. – Одеса, 2004. – С. 305-308.

82.  Ляпина Е.В. До питання щодо вологостійкості конденсованих систем мідь-олово і їх аналогів / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. – 2005. – т.6, №2. – С. 327-332.

83.  Ляпина Е.В. Влияние состава сплавов меди на коррозионную стойкость конденсированных систем / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // ОДАХТ. Наукові праці. Вип.25. – Одеса, 2003. – С. 206-212.

84.  Ляпіна О.В. Вплив термообробки на електрофізичні властивості конденсованих плівок сполук міді / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. – 2005. – т.6, №3. – С. 423-427.

85.  Ляпіна О.В. До питання про одержання функціональних конденсаційних покрить прямим випаровуванням сполук у вакуумі / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. – 2005. – т.6, №1. – С. 161-164.

86.  Ляпина Е.В. Коррозионно-электрохимические характеристики конденсированных пленок сплавов на основе меди / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // Современные проблемы материаловедения: Тез. докл. Откр. Всеукр. конф. молодых учёных науч. сотр. – Харьков, 2003. – С. 30.

87.  Ляпина Е.В. Особенности электрохимического поведения конденсированных пленок сплавов медь-олово в кислый средах / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // ОНАХТ. Наукові праці. Вип.27. – Одеса, 2004. – С. 293-299.

88.  Ляпіна О.В. Особливості електродних процесів на поверхні конденсатів мідь-олово та їх аналогів у нейтральних середовищах / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. – 2004. – т.5, №3. –С.564-570.

89.  Ляпина Е.В. Применение конденсированных пленок сплавов высокой проводимости взамен благородных металлов / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // Материалы II Межд. науч.-практ. конф. “Динамика научных исследований 2003”. – Днепропетровск, 2003. – т.36. – С. 39-40.

90.  Ляпина Е.В. Технология получения и свойства пленок сплавов меди в электрических контактах / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий. – К., 2004. – 24 с. – Деп. в ГНТБ Украины 05.01.04, №20 – ММ 04.

91.  Ляпина Е.В. Функциональные конденсированные пленки из сплавов высокой проводимости и их свойства / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий. – К., 2003. – 16с. – Деп. в ГНТБ Украины 01.09.03, №40. – ММ 03.

92.  Ляпина Е.В. Физико-химические аспекты технологии конденсированных пленок сплавов высокой проводимости / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, В.Г. Задорожный // Материалы V юбил. Пром. конф. “Эффективность реализации научн., ресурсного и пром. потенциала в современных условиях”. – Славское, 2005. – С.98-99.

93.  Ляпина Е.В. К вопросу о влагостойкости конденсатов сплавов на основе меди / Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.И. Костржицкий Р.А. // Матеріали Ювіл. Х Межн. конф. “Фізика і технологія тонких плівок”. – Ів.-Франківськ, 2005. – т.2. – С. 158-159.

94.  Ляпина Е.В. Методика исследования электрических свойств тонкопленочных конденсированных структур / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, Р.А. Подолян // Материалы VII Міжн. наук.-практ. конф. “Наука і освіта”. – Дніпропетровськ, 2004. – т.61. – С. 3-5.

95.  Ляпина Е.В. Особенности структуры и фазового состава конденсированных структур медь-олово и их аналогов / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, А.Д. Соколов // Материалы V юбил. Пром. конф. “Эффективность реализации науч., ресурсного и пром. потенциала в современных условиях. – Славское, 2005. – С. 95-97.

96.  Ляпина Е.В. Электрофизические свойства конденсационных пленок сплавов медь-олово в системе “пленка – скользящий контакт” / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, А.Д. Соколов // Проблемы техники. – 2004. – №4. – С.22-28.

97.  Ляпина Е.В. Анализ коррозионной стойкости сплавов Cu-Sn по данным потенциодинамических исследований / Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.И. Костржицкий // Материалы VII Межд. науч.-практ. конф. “Наука і освіта”. – Днепропетровск, 2004. – т.61. – С. 5-7.

98.  Ляпина Е.В. К вопросу об оценке влияния состава конденсированных пленок сплавов меди на их электрические свойства / Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.И. Костржицкий // Материалы I Межд. науч.-практ. конф. “Науковий потенціал світу 2004”. – Днепропетровск, 2004. – т.61. – С. 21-23.

99.  Майссел Л.И. Тонкопленочные резисторы. – В кн.: Технология тонких пленок. – М.: Сов. радио, 1977. – т.2. – 768с.

100.  Методика исследования окисления металлов / Н.А. Шкляревский, Л.А. Агеев, В.П. Костюк, И.Л. Рачинский // Физика твердого тела. – 1968. – т.10, №9. – С.3097-3100.

101.  Миркин Л.И. Рентгеноструктурный анализ. Справочное руководство. Получение и измерение рентгенограмм. – М.: Наука, 1976. – 284с.

102.  Миркин Л.И. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов. – М.: Госиздат физ.-мат. лит., 1961. – 360с.

103.  Мовчан Б.А. Электроннолучевая плавка и рафинирование металлов и сплавов / Б.А. Мовчан, А.Г. Тихоновский, Ю.А. Куранов. – К.: Наукова думка, 1973. – 239с.

104.  Некоторые закономерности формирования пленок алюминия и их электрические свойства / В.П. Белевский, В.И. Иванов, В.М. Недоступ и др. // Физика и химия обраб. материалов. – 1968. – №3. – С.104-109.

105.  Об окислении вакуумных конденсатов сплавов на основе меди / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский, И.Л. Ройх // Металловедение и термодинамическая обраб. металлов. – 1980. – №3. – С.34-36.

106.  О возможности замены благородных металлов в некоторых изделиях электронной техники / А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко, Г.М. Иванов и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1979. – №1. – С.3-6.

107.  О свойствах проводящих элементов пленочных микросхем, полученных напылением алюминия, никеля, меди и сплавов на основе меди / М.В. Белоус, А.С. Косенков, Г.И. Павленко и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1971. – №1. – С.101-105.

108.  Основы эллипсометрии / А.В. Ржанов, К.К. Свиташев, А.И. Семененко и др. – Новосибирск: Наука, 1979. – 420с.

109.  Особенности импульсных испарителей для напыления пленок / В.Г. Днепровский, Б.А. Осадин, Н.В. Русаков и др. // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника. – 1972. – №3. – С.62-70.

110.  Особенности испарения и формирования покрытий из сплавов олово – свинец // И.Л. Ройх, С.Н. Федосов, А.И. Костржицкий и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1974. – №12. – С.15-18.

111.  Особенности кинетики анодного растворения в хлористых растворах меди и золото-медных сплавов / А.Ш. Заядуллаев, А.Ж. Медведев, А.И. Маслий, Р.Ю. Бек // Физ. химия и электрохимия редк. и цв. мет.: Тез. докл. 7 кол. семин. / РАН Кол. науч. центр. – Апатиты, 1992. – С.42-43.

112.  Особенности получения сплавов системы Cu-Al методом конденсации в вакууме / Д.И. Лайнер, А.С. Бай, Л.М. Островская и др. // Сб. науч. тр. / Гипроцветметобработка. Вып. 39. – М., 1973. – С.44-48.

113.  Пазухин В.А. Разделение и рафинирование металлов в вакууме / В.А. Пазухин, А.Я. Фишер. – М.: Металлургия, 1969. – 208с.

114.  Палатник Л.С. К вопросу о механизме конденсации металлов в вакууме / Л.С. Палатник, Ю.Ф. Комник // Доклады АН СССР. – 1959. – т.124, №4. – С.808-811.

115.  Палатник Л.С. Изучение закономерностей испарения сплавов / Л.С. Палатник, Г.Ф. Федоров, П.Н. Богатов // Физика металлов и металловедение. – 1966. – т.21, №3. – С. 409-413.

116.  Палатник Л.С. Исследование процессов испарения и объемной конденсации сплавов / Л.С. Палатник, Г.В. Федоров, П.Н. Богатов // Доклады АН СССР. – 1964. – т.158, №3. – С. 586-590.

117.  Палатник Л.С. О характере испарения и конденсации сплавов олово – свинец / Л.С. Палатник, Г.В. Федоров, П.Н. Богатов // Физика металлов и металловедение. – 1966. – т.21, №5. – С. 704-709.

118.  Палатник Л.С. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок / Л.С. Палатник, М.Я. Фукс, В.М. Косевич. – М.: Наука, 1972. – 320с.

119.  Попов В.И. Закономерности формирования структуры и свойств пленок, полученных вакуумным испарением сплавов меди // Физика металлов и металловедение. – 1974. – №3. – С. 560-564.

120.  Попов В.И. О связи рельефа поверхности пленок металлов и сплавов с их зернистой структурой // Физика и химия обраб. материалов. – 1975. – №1. – С.51-53.

121.  Попов В.И. Фракционирующие сплавы на основе меди и технология изготовления гибридно-пленочных микросхем // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника. – 1973. – №1. – С.72-75.

122.  Ржанов А.В. Эллипсометрические методы контроля в микроэлектронике / А.В. Ржанов, К.К. Свиташев, А.И. Семененко // Микроэлектроника. – 1975. – т.4, №1. – С.3-23.

123.  Розенфельд И.Л. Ускоренные методы коррозионных испытаний металлов / И.Л. Розенфельд, К.А. Жигалова. – М.: Машиностроение, 1966. – 220с.

124.  Ройх И.Л. Защитные вакуумные покрытия на стали / И.Л. Ройх, Л.Н. Колтунова. – М.: Машиностроение, 1971. – 280с.

125.  Ройх И.Л. Нанесение защитных покрытий в вакууме / И.Л. Ройх, Л.Н. Колтунова, С.Н. Федосов. – М.: Машиностроение, 1975. – 358с.

126.  Ройх И.Л. Получение покрытий из сплавов в вакууме / И.Л. Ройх, А.И. Костржицкий, С.Н. Федосов / Электронная техника. Сер. Технология и орг. пр-ва и оборуд. – 1975. – №6. – С.51-60.

127.  Ройх И.Л. Применение метода испарения и конденсации в вакууме для получения новых защитно-декоративных покрытий из сплавов / И.Л. Ройх, С.Н. Федосов, А.И. Костржицкий // Материалы науч.-техн. семинара “Современные защитно-декор. покрытия металлов”. – М., 1974. – С.156-159.

128.  Россинский В.А. Исследование процесса термического испарения в вакууме многокомпонентных сплавов / В.А. Россинский, Т.И. Самохвалова, Л.Т. Прокофьева // Электронная техника. Сер. Технология и орг. пр-ва. – 1971. – №2. – С.71-75.

129.  Рыбин Б.С. Процессы диффузии и теплопроводности в вакуумных конденсатах / Б.С. Рыбин, И.Л. Ройх // Физика металлов и металловедение. – 1970. – т.30, №2. – С.276-280.

130.  Соколов А.Д. Исследование адгезии и защитных свойств вакуумных хромовых покрытий на салумине, чугуне и стали: Автореф. дис... канд. техн. наук. – Одесса, 1974. – 26 с.

131.  Соколов А.Д. Структура и защитные свойства ионно-плазменных покрытий из сплавов хрома на стали / А.Д. Соколов, А.И. Костржицкий // Материалы IХ Межд. коф. “Физика и технология тонких пленок”. – Ив.-Франковск, 2003. – т.2. – С. 228-229.

132.  Соловьева О.Н. Технология нанесения вакуумных пленок на неподогреваемые подложки: Автореф. дис... канд. техн. наук. – Киев, 1987. – 24 с.

133.  Соловьева О.Н. Адгезионное взаимодействие в системе “металл – окисел” при конденсации на неподогреваемые подложки / О.Н. Соловьева, А.И. Костржицкий // Материалы IV науч.-техн. конф. “Вакуумные покрытия – 87”. – Рига, 1987. – ч.II. – С.35-38.

134.  Соловьева О.Н. Об адсорбционной и адгезионной активности поверхности оксида, модифицированной в тлеющем разряде / О.Н. Соловьева, А.И. Костржицкий // Физика и химия обраб. материалов. – 1990. – №2. – С. 60-64.

135.  Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме / А.И. Костржицкий, В.Ф. Карпов, М.П. Кабанченко, О.Н. Соловьева. – М.: Машиностроение, 1991. – 174с.

136.  Технология изготовления пассивных элементов микросхем с высокой проводимостью путем вакуумного напыления сплавов на основе меди / М.В. Белоус, А.М. Корольков, А.С. Косенков и др. // Электронная техника. Сер.10. – 1971. – №3. – С.18-24.

137.  Толкачев С.С. Таблицы межплоскостных расстояний. – Л.: Химия, 1968. – 426с.

138.  Урьяш Ф.В. Динамика примеси при испарении металлов в испарителе непрерывного действия // Электронная техника. Сер. Технология, орг. пр-ва и оборуд. – 1973. – №6. – С. 9-12.

139.  Физико-химические свойства тонких пленок, напыленных на неметаллическую основу. IV. Начальное сопротивление пленок алюминия / Л.К. Лепинь, В.М. Кадек, Ю.Н. Соколов и др. // Изв. АН Латв. ССР. Сер. Хим. – 1976. – №5. – С. 574-580.

140.  Фракционирование бинарных сплавов при испарении из одного тигля / И.Л. Ройх, А.И. Костржицкий, С.А. Приббе, С.Н. Федосов // Физика и химия обраб. материалов. – 1976. – №3. – С. 50-53.

141.  Харинский А.П. Основы конструирования радиоаппаратуры. – М.: Энергия, 1971. – 358с.

142.  Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. – М.: Госэнергоиздат, 1963. – 608с.

143.  Чеботарева Н.П. Особенности коррозионного поведения меди в сульфатных средах, содержащих азотную кислоту / Н.П. Чеботарева, А.И. Маршаков, Ю.Н. Михайловский // Защита металлов. – 1993. – т.29, №6. – С. 900-905.

144.  Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. – М.: Машиностроение, 1975. – 278с.

145.  Чистяков Ю.Д. Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю.Д. Чистяков, Ю.П. Райнова. – М., 1980. – 386с.

146.  Шишаков Н.А. Строение и механизм образования оксидных пленок на металлах / Н.А. Шишаков, В.В. Андреева, Н.К. Андрущенко. – М., 1959. – 322с.

147.  Электрофизические параметры вакуумно-конденсированных резистивных элементов на основе некоторых сплавов системы медь – марганец – титан / Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова, В.И. Попов, А.А. Попова // Известия вузов. Сер. Радиоэлектроника. – 1977. – т.20, №1. – С. 76-78.

148.  Электрохимическое поведение конденсированных пленок сплавов медь – олово в щелочных средах / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.Д. Соколов // Проблеми техніки. – 2004. – №1. – С.78-87.

149.  Электрофизические свойства конденсатов некоторых сплавов медь – марганец – никель, полученных методами вакуумной технологии / Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова, В.И. Попов, А.А. Попова // Известия вузов. Сер. Физика. – 1976. деп. №2444-76.

150.  Электрофизические свойства пленок, полученных вакуумным испарением сплавов системы медь – марганец / В.И. Попов, Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова и др. // Металловедение и термическая обраб. металлов. – 1976. – №7. –С.63-65.

151.  Augis J.A. Sputter deposition of a metastable equiatomatic tin-nickel alloy / Augis J.A., Bennwet J.E. // Journ. electrochem. Soc. – 1977. – v.124, №9. – Р. 1455-1458.

152.  Characterisation of passive film on copper / Sathiyanarayanan S., Manoharan S.P., rajagopal G., Balakrishnan K. // 6th Int. Symp. Passivity: Passivat. Metals and Semicond., Sapporo, 1989. – P.3-15.

153.  Cnan E.C. Ellipsometric study of Ni-surfaces / Cnan E.C., Marton J.P. // J. Appl. Phys. – 1972. – v.43, №4. – Р.1681-1684.

154.  Corrosion, passivation et protection du cuivre en solutions aqueuses T. Mecanisme cyclique de la corrosion / Le Gal La Salle A., Jardy A., Rosset R. at all // Mem. et Etud. Sci. Rev. Met. – 1992. – v.89, №3. – P.171-182.

155.  Crousier J. Behaviour of Cu-Ni alloys in natural sea water and NaCl solution / Crousier J., Beccaria A. / Werkst. und Korros. – 1990. – v.41, №4. – P.185-189.

156.  Crousier J. Corrosion behaviour of a series of Cu-Ni binary alloys in slightly alkaline solution containing Cl / Crousier J., Beccaria a. // 11th Int. Corros. Congr. Innov. and Technol. Transfer Corros. Contr. – Florence, 1990. – v.4. – P.319-324.

157.  Dale E.B. Theory of steady-state evaporation of alloys // Journ. Appl. Phys. – 1970. – №1. – P. 3697-3701.

158.  Decany I. Failure mechanisms of electrical contacts surfaces / Decany I., Kormany T. // "Proc. ATFA. - 77, Los-Angeles, Calif., 1977", New York, N.Y., 1977. - P.159-169.

159.  Electrochemical behaviour of rapidly solidified and conventionally cast Cu-Ni-Sn alloys / Deyong L., Elboujdaini M., Themblay R., Ghali e. // Appl. Electrochem. – 1990. – v.20, №5. – P. 756-762.

160.  Foster J.S. Vacuum deposition of alloys: theoretical and practical cosiderations / Foster J.S., Pfeifer W.H. // Journ. Vac. Sci. technol. – 1972. – v.9, №6. – P. 1379-1384.

161.  Hughes J.L., Making alloys foils by electron beam evaporation // Metals Eng. Quaterly. – 1974. – v.14, №1. – P. 1-12.

162.  Kostrjitskiy A.I. Electrochemical behaviour of low-doped copper alloys films / Kostrjitskiy A.I., Lyapina E.V. // Proc. of 8-th Int. Symp. on Electrochemical Methods in Corrosion Recearch. – Belgium, Brussel, 2004. – P. 284.

163.  Kostrjitskiy A.I. The preparation and properties of thin copper alloys film / Kostrjitskiy A.I.. Lyapina E.V., Sokolov A.D. // Proc. Int. Conf. on Non-Crystalline Inorganic Materials “CONCIM-2003”. – Germany, Bonn, 2003. – P. 133.

164.  Lewis C.W. Condensation and evaporation of solids / Lewis C.W., Schick M.I. // Rutner et al eds. – New York, 1962. – P. 131.

165.  Long T.R. Palladium alloys for electrical contacts // Paper presented at the annual Holm seminar "Platinum metal Rev". – 1976. – v.20, №2. - P.46-47.

166.  Lyapina E.V. Corrosion-electrochemical properties of copper alloys in neutral solution / Lyapina E.V., Kostrjitskiy A.I., Tishchenko V.N. // Proc. of 8-th Int. Symp. on Electrochemical Methods in Corrosion Research.-Belgium, Brussel. – 2003. – P.285.

167.  Mattsson Einar. Ammonia test for stress corrosion resistance of copper alloys // Mattsson Einar, Holm Rolf, Hassel Lars // Use Synth. Environ. Corros. Test.: Symp. Teddington, 1986. – Philadelphia (Pa), 1988. – P. 152-164.

168.  Milosev I. Kinetics and mechanism of Cu-Ni alloys corrosion in the presence of Cl ions / Milosev I., Metikos-Hukovic // 11th Int. Corros. Congr.: Innov. and Technol. Transfer Corros., Contr., Horence, 2-6 Apr., 1990. – v.3 / Assoc. Ital. Meet. – Milano, [1990]. – P. 523-530.

169.  Mechanism of corrosion in Al-Si-Cu / Hayasaka Nobuo, Koga Yuri, Shimomura Koji at all // Toshiba Selec. Pap. Sci. and Technol. – 1992. – v.4, №1. – P. 97-101.

170.  Politicki A. Structure and electrical properties of thin film resistor materials / Politicki A., Heiber K. // Siemens Forshungs und Entwicklügsber. – 1974. – v.3, №4. - P. 248-254.

171.  Popplewell J.M. Stress corrosion resistance of some base alloys in natural atmospheres / Popplewell J.M., Gearing T.V. // Corrosion 5 (USA). – 1975. – v.31, №8. - P.279-286.

172.  Potentiodynamic behaviour of Cu-Al-Ag alloys i NaOH: A comparative study related to the pure metals electrochemistry / Benedetti A.V., Nakazato R.Z., Sumodjo P.T. at all // Electrochim acta. – 1991. – v.36, №9. – P.1409-1421.

173.  Rogers B.R. Localized Corrosion of aluminum – 1,5% copper thin films exposed to photoresist developing solutions / Rogers B.R., Wilson S.R., Cale T.S. // 37th Nat. Symp. Amer. Vac. Soc., Toronto, 8-12 Oct., 1990 / Pt.2. J. Vac. Sci. and Technol. A. – 1991. – v.9, №3. – Pt.2. – P.1616-1621.

174.  Santala T. Kinetics and thermodynamics in continiuos electron-beam evaporation of binary alloys / Santala T., Adams C.M. // Journ. Vac. Sci. Technol. – 1970. – vol.7. – №6. – P. 522-529.

175.  Sato Mitsonuri. Infpluence of oxides on material transfer behaviour of silver base contacts, containing various metal oxides / Sato Mitsonuri, Hijikata Masayuki // Trans Jap Inst Metals, 1974 – v.15, №6. - P.399-407.

176.  Shibad P.R. Corrosion film formed on copper and copper base alloys in salt water / Shibad P.R., Singh P.R., Gadiyar H.S. // J. Electrochem. Soc. India. – 1989. – v.38, №3. – P. 306-309.

177.  Scnults L.S. The optical properties of Ag, Au, Cu and Al // J. Opt. Appl... – 1954. – v.44, №5. – P. 357-359.

178.  Som C.S. The range of applicability of the exact first order ellipsometric calculation / Som C.S., Choudnury C.N. / Nouv. Rev. Opt. Appl. – 1972. – №2. – P. 389-394.

179.  Sterling A. Accelerated atmospheric corrosion of copper and copper alloys / Sterling A., Atrens A., Smith T.O. // Brit. Corros. J. – 1990. – v.25, №4. – P. 271-278.

180.  Swift R.A. Fractionation of Ni-Cr-Cu-Al alloys during vacuum evaporation / Swift R.A. Noval B.A., Merz K.M. // Journ. Vac. Sci. Technol. 2. – 1968, vol.5. – №3. – P.79-83.

181.  The evaluation of the technology for depositing NiCr resistivity film / Tavses R., Kansky E. et al // Thin Solid Films. – 1976. – v.36, № 2. - P.279-282.

182.  Terada K.C. Vacuum deposition of tin-selenium film / Journ. Vac. Phys. D.: Appl. Phys. – 1974. – vol.4, № 12. – P.1991-1997.

183.  Tseng P. Electrical resistivity of copper – 5 wt. % tin / Tseng P., Tangri K. // Scripta Metallurgica, Pergamon Press. – 1976. – v.10, № 10. - P.933-936.

184.  Van de Leest R.E. Aluminium-implanted copper and sputtered copper alloys as electrical contact materials / Eur. Res. mater., Substitut. Proc. Final Contr. Meet., Brussels, 9-11 Dec., 1986. – London; New Yourk, 1988. – P. 125-132.

185.  Wagner S. Activities in dilute solution of chromium and iron in nickel at 1600C by mass spectro metry / Wagner S., Shade D.J., Pierre G.R. // Metallurg. Trans. – 1972. – №3. – P.47-53.

186.  Whitely J.H. Rational selection of alternate materials for electrical connector contacts // Proc 24 th Electronic Components Conference. – Washington DC, May, 1974.

187.  Wilder T.C. The thermodynamic properties of liquid aluminium-copper system // Trans AIME2. – 1965, vol.233. – P.1202.

188.  Wojtas H. Corrosion and electrochemical characterization of rapidly solidified Cu-B, Cu-Al-B, Cu-Cr-Zn alloys / Wojtas H., Bachni H. // Mater. Sci and Eng. A. – 1991. – v.134. – P. 1065-1069.

189.  Zinsmeister G. The direct evaporation of alloys // Vakuum-Tech. – 1964. – №8. – P.233-240.

190.  Ляпина Е.В. Физико-химические основы процесса получения конденсационных многокомпонентных покрытий прямым испарением сплавов в вакууме / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий. – К., 2004. – 34с. – Деп. в ГНТБ Украины 11.10.04, №66 – ММ 04.


Информация о работе «Современное состояние исследований в области функциональных конденсационных покрытий высокой проводимости»
Раздел: Физика
Количество знаков с пробелами: 88652
Количество таблиц: 2
Количество изображений: 4

Похожие работы

Скачать
68855
3
25

... преломления, равном 1,48 для кремнийорганического полимера, и  1,49 для полиметилметакрилата, показатели преломления для нанокомпозитов составили 1,74. Проведенный анализ физико-химических свойств композиций на основе металлоорганосилоксанов дает возможность предположить, что данные материалы перспективны для создания на их основе оптически прозрачных диэлектрических наноматериалов для ...

Скачать
177997
25
11

... области, находящиеся на территории Семипалатинского полигона подверглись влиянию радиоактивных элементов, которое проявляется как на молекулярном, клеточном уровне, так и на уровне целого организма. Основными радионуклидами, определяющими характер загрязнения, в нашей области является стронций-90. Некоторые районы Павлодарской области оказалась наиболее загрязнёнными областями Республ

Скачать
191267
14
8

... от 20 августа 1998 г. №1321. Основные направления утверждены постановлением Совета Министров Республики Беларусь от 3 апреля 2000 г. №445. Цели и задачи социально-экономического развития Республики Беларусь на среднесрочную перспективу Важнейшей целью пятилетия 2006-2010 гг. является достижение устойчивого экономического роста и на этой основе обеспечение основных параметров оздоровления ...

Скачать
143711
9
3

... функционирующий элемент технологического оборудования: механический фильтр, осветлитель, цепочку фильтров блока обессоливания, группу баков и насосов и т.п.   3. Технологическая схема приготовления топлива В котлах Орской ТЭЦ-1 сжигается природный газ, представляющий собой механические смеси различных газов.Состав газа ( в %)а) метан - 97,37б) ...

0 комментариев


Наверх