Исследование возможности использования эффекта автодинного детектирования в генераторах на диоде Ганна для контроля параметров вибрации

СОДЕРЖАНИЕ.

~~~~~~~~~~~

лист

1. ВВЕДЕНИЕ. 2

2. ОБЗОР МЕТОДОВ ИЗМЕРЕНИЯ ВИБРАЦИИ. 3

Контактные методы измерения вибрации.

Бесконтактные методы измерения вибрации.

3. АВТОДИНЫ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ДИОДАХ. 9

4. ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ. 12

Составление модели автодина на диоде Ганна.

Теоретическое описание нагрузки.

Принципы построения программ.

5. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ. 22

6. ЗАКЛЮЧЕНИЕ. 39

7. СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ. 40

ПРИЛОЖЕНИЕ 1. Данные о вычислительном комплексе. 42

ПРИЛОЖЕНИЕ 2. Текст программы для моделирования работы

автодина на диоде Ганна HANN.SAV. 43

ПРИЛОЖЕНИЕ 3. Правила пользования программой HANN.SAV. 55

ПРИЛОЖЕНИЕ 4. Текст программы для моделирования работы

виброизмерителя на диоде Ганна VIBRO.SAV. 56

ВВЕДЕНИЕ.

~~~~~~~~~

Современные технологии требуют непрерывного контроля за

многими параметрами технологического процесса и контроля

состояния оборудования. Одними из важнейших являются параметры

механического движения, в частности параметры

периодических перемещений исследуемого объекта в пространстве

( вибрации ). Этими параметрами являются виброперемещение

( амплитуда вибрации ) и виброскорость ( частота вибрации ).

Подобный контроль необходим в самых разных областях: в

полупроводниковой электронике ( контроль вибрации установок

для выращивания кристаллов ), в микроэлектронике ( вибрация

установок фотолитографии ), в машиностроении ( вибрация

станков и биение деталей ), в автомобильной промышленности

( контроль вибрации отдельных узлов автомобилей и всего

автомобиля в целом ), на железнодорожном транспорте ( датчики

приближения поезда ), в энергетике ( контроль вибрации лопаток

газовых турбин ), в авиастроении ( контроль биений турбин ) и

т.д. Этот список можно продолжать достаточно долго, что

говорит о необходимости создания высокоточных вибродатчиков.

В настоящее время разработано достаточно много

вибродатчиков, основанных на различных эффектах ( см. главу

2 ). Все они имеют свои преимущества и недостатки. Кроме того,

существуют определенные трудности в теоретическом описании

и моделировании работы вибродатчиков.

Целью дипломной работы являлось исследовоние возможности

использования эффекта автодинного детектирования в

полупроводниковых СВЧ - генераторах на диоде Ганна для

создания измерителей параметров вибрации и особенностей их

работы.

2. ОБЗОР МЕТОДОВ ИЗМЕРЕНИЯ ВИБРАЦИИ. ~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~

Существует две группы методов измерения параметров

вибраций: контактные, подразумевающие механическую связь

датчика с исследуемым объектом, и бесконтактные, т.е. не

связанные с объектом механической связью.

Рассмотрим вначале контактные методы. Наиболее простыми

являются методы регистрации вибраций с помощью

пьезоэлектрических датчиков. Они позволяют проводить

измерения с высокой точностью в диапазоне низких частот и

относительно больших амплитуд вибрации, но вследствии своей

высокой инерционности, приводящей к искажению формы сигнала

делает невозможным измерение вибраций высокой частоты и малой

амплитуды. Кроме того, если масса исследуемого объекта, а

следовательно и его инерционность не велика, то такой датчик

может существенно влиять на характер вибрации, что вносит

дополнительную ошибку в измерения.

Эти недостатки позволяет устранить метод открытого

резонатора, описанный в [1]. Суть метода заключается в

измерении параметров СВЧ резонатора, изменяющихся вследствие

вибрации исследуемого объекта. Резонатор имеет два зеркала,

причем одно из них фиксировано , а другое механически связано

с исследуемым объектом. Регистрация перемещений при малых

амплитудах вибраций производится амплитудным методом по

изменению выходной мощности в случае проходной схемы включения

резонатора или отраженной мощности, в случае применения

оконечного включения. Этот метод измерения требует постоянства

мощности, подводимой к резонатору и высокой стабильности

частоты возбуждения.

В случае больших амплитуд вибраций регистрируется смещение резонансной частоты, что можно сделать с очень

высокой точностью. Для повышения добротности и уменьшения

дифракционных потерь используют сферические зеркала.

Разрешающая способность данного метода 3 мкм. Метод

обладает малой инерционностью по сравнению с описанным выше,

но его применение рекоменуется, если масса зеркала

принципиально меньше массы исследуемого объекта.

Однако механическая связь датчика с исследуемым объектом

далеко не всегда допустима, поэтому последние годы основное

внимание уделяется разработке бесконтактных методов измерения

параметров вибраций. Кроме того, их общим достоинством

является отсутствие воздействия на исследуемый объект и

пренебрежительно малая инерционность.

Все бесконтактные методы основаны на зондировании объекта

звуковыми и электромагнитными волнами.

Одной из последних разработок является метод

ультразвуковой фазометрии, описанный в [2]. Он заключается в

измерении текущего значения разности фаз опорного сигнала

ультразвуковой частоты и сигнала, отраженного от исследуемого

объекта. В качестве чувствительных элементов используется

пьезоэлектрическая керамика.

На частоте ультразвука 240 кГц. чувствительность

измерения виброперемещения 10 мкм. в диапазоне от 10 до

5*10 мкм., расстояние до объекта до 1.5 м. На частоте