2.1.2 Выбор материала подложки (звукопровода)
В таблице 2.2 в качестве сравнительной характеристики приведены основные параметры материалов акустоэлектроники.
Таблица 2.2 – Основные параметры материалов подложек
Материал | Химическая формула | Ориентация пластины и направление распространения ПАВ | Скорость ПАВ, м/с | Квадрат КЭМС, к2, % | ТКЗ 10-6/○С |
Кварц | SiO2 | YXl/42○45′ (0○;132○45′; 0○) | 3158 | 0.11 | 0 |
37○ - Y | 5094 | 0.1 | 0 | ||
YX | 3159 | 0.19 | -24 | ||
Ниобат лития | LiNbO3 | YZ | 3488 | 4.5 | 94 |
128○ - YX | 3980 | 5.3 | 75 | ||
ZXl/41○30′ | 3999 | 5.54 | 72 | ||
ZXb/41○30′ | 3503 | 5.36 | 96 | ||
41,5○-YX | 4000 | 5.54 | 72 | ||
Танталат лития | LiTaO3 | 36○-YX | 4220 | 6.6 | 30 |
ZY | 3329 | 1.18 | -52 | ||
ZYs/112○ | 3295 | 0.72 | - | ||
YZ | 3230 | 0.66 | 35 | ||
YX | 3148 | 0.075 | 49 | ||
77.1○-YZ | 3254 | 0.72 | 35 | ||
Германат висмута | Bi12GeO20 | (001), [100] | 1681 | 1.36 | 115 |
(111), [110] | 1708 | 1.69 | 115 | ||
Лангасит | La3Ga5SiO14 | (0;140;24○) | 2736.7 | 0.37 | -0.06 |
(90;40;-6○) | 2535 | 0.44 | -19 | ||
(0;138,5;26.6○) | 2740 | 0.44 | - | ||
Лангатат | La3Ga5.5Ta0.5O14 | XZ | 2292 | 0.0589 | -40.6 |
(0;2;90○) | 2210,6 | 0.423 | 64.5 | ||
Ланганит | La3Ga5.5Nb0.5O14 | (30;90;90○) | 2376 | 0.172 | -45.5 |
Берлинит | ALPO4 | (0;80,4;0○) | 2751 | 0.63 | 0 |
(90;90;80,4○) | 2717 | 0.22 | 0 | ||
(90;90;168.7○) | 2926 | 0.49 | 0 | ||
Арсенид галлия | GaAs | (100), [110] | <2841 | <0.06 | 35 |
(110), [100] | 2822 | 0.016 | |||
Тетраборат лития | Li2B4O7 | 45○-YZ | 3391 | 1.0 | |
(90;90;90○) | 3510 | 1.2 | 9 | ||
Ортофосфат галлия | GaPO4 | (0;110;0○) | 2330 | 0.5 | 0 |
(90;5;0○) | 2501 | 0.3 | |||
(0;54;5;0○) | 2342 | 0.3 | 0 | ||
SNGS | Sr3NbGa3Si2O14 | (0;0;90○) | 2835.8 | 0.628 | -98.9 |
STGS | Sr3TaGa3Si2O14 | (0;0;90○) | 2733.1 | 0.562 | -73.1 |
CTGS | Ca3TaGa3Si2O14 | (0;0;90○) | 2771.6 | 0.362 | -37.1 |
CNGS | Ca3NbGa3Si2O14 | (0;0;90○) | 2906.2 | 0.261 | -52.0 |
В качестве материала подложки выберем монокристалл ниобата лития. Как видно из таблицы 2.2 данный материал обладает довольно большим коэффициентом электромеханической связи, что позволит реализовать широкополосное устройство. На рисунке 2.1 наглядно проиллюстрирован тот факт, что величина вносимых потерь на частотах до 1ГГц в данном материале не превышает 0,5 дБ/мкс. Следовательно проектируемое устройство будет работать с минимальными потерями. К тому же, ниобат лития обладает приемлемыми скоростями распространения ПАВ в диапазоне 3000-4000м/с. Значения скорости, необходимые для устройства, работающего по принципу линии задержки на частотах более 100МГц, укладываются в данный интервал. Ввиду того что пьезоэлектрические материалы анизотропны, то важен становится не только сам выбранный материал, но и его срез и направление распространения акустических волн. Наиболее подходящим срезом для выбранного монокристалла ниобата лития является срез YZ, так как он обладает в этом направлении нулевым углом отклонения потока энергии φ и параметр анизотропии γ близок к -1 (таблица 2.1). Это означает, что будет обеспечена высокая направленность пучка ПАВ.
... рисунков в формате А0-А1 со скоростью 10-30 мм/с. Фотонаборный аппарат Фотонаборный аппарат можно увидеть только в солидной полиграфической фирме. Он отличается своим высоким разрешением. Для обработки информации фотонаборный аппарат оборудуется процессором растрового изображения RIP, который функционирует как интерпретатор PostScript в растровое изображение. В отличие от лазерного принтера в ...
0 комментариев