Описание
процесса зонной
плавки и ее
математическая
модель
Расчет
распределения
примеси вдоль
слитка кремния
после зонной
плавки (один
проход расплавленной
зоной)
Расчет
распределения
Si-Sb
Распределение
примесей после
диффузии
Распределение
примеси при
диффузии из
полубесконечного
пространства
(диффузия из
концентрационного
порога)
Распределение
примеси при
диффузии из
слоя конечной
толщины (диффузия
из ограниченного
источника) в
полубесконечное
тело с отражающей
границей
Навигация
Расчет распределения Si-Sb
Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
42980
знаков
7
таблиц
49
изображений
1.2.3 Расчет распределения Si-Sb.
Расчет распределения сурьмы в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.
Переведем N0 в см-3. Атомная масса сурьмы = 121,7
N0=0,02 % (массовых) = 4,6210-3 % (атомных) = 2,311018 см-3.
Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для сурьмы в кремнии k0=2,310-3 [1]. Отношение /Dж=200 с/см из задания.
Подставляя значения k0, /Dж, Vкрв (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,510-3; 8,3310-3; 2,510-2 см/с соответственно получим kэфф=3,7410-2; 0,11; 0,78.
Заполним расчетную таблицу.
Таблица 3 - Распределение сурьмы и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).
| Участок зонной плавки | Участок направленной Кристаллизации | ||||
а | Nтв, см-3 | Омсм (по кривым Ирвина) | g (a=10) | Nтв, см-3 | Омсм (по кривым Ирвина) |
| Vкр=2,510-3см/с | |||||
| 0 | 8,641016 | 0,11 | 0 | 7,221017 | 0,028 |
| 1 | 1,681017 | 0,075 | 0,2 | 8,951017 | 0,023 |
| 2 | 2,471017 | 0,052 | 0,4 | 1,181018 | 0,0215 |
| 3 | 3,221017 | 0,047 | 0,6 | 1,741018 | 0,0192 |
| 4 | 3,951017 | 0,04 | 0,8 | 3,41018 | 0,014 |
| 5 | 4,661017 | 0,038 | 0,9 | 6,621018 | 0,0082 |
| 6 | 5,331017 | 0,033 | 0,99 | 61019 | 0,00135 |
| 7 | 61017 | 0,031 | – | – | – |
| 9 | 7,221017 | 0,028 | – | – | – |
| Vкр=8,3310-3 см/с | |||||
| 0 | 2,541017 | 0,051 | 0 | 1,551018 | 0,02 |
| 1 | 4,681017 | 0,038 | 0,2 | 1,891018 | 0,018 |
| 2 | 6,61017 | 0,03 | 0,4 | 2,441018 | 0,016 |
| 3 | 8,321017 | 0,027 | 0,6 | 3,51018 | 0,013 |
| 4 | 9,861017 | 0,024 | 0,8 | 6,491018 | 0,0085 |
| 5 | 1,121018 | 0,022 | 0,9 | 1,21019 | 0,0055 |
| 7 | 1,361018 | 0,0205 | 0,99 | 9,31019 | 0,00088 |
| 8 | 1,461018 | 0,02 | – | – | – |
| 9 | 1,551018 | 0,02 | – | – | – |
| Vкр=2,510-2 см/с | |||||
| 0 | 1,81018 | 0,019 | 0 | 2,311018 | 0,0157 |
| 1 | 2,081018 | 0,017 | 0,2 | 2,421018 | 0,0156 |
| 2 | 2,21018 | 0,016 | 0,4 | 2,581018 | 0,015 |
| 3 | 2,261018 | 0,0158 | 0,6 | 2,821018 | 0,014 |
| 5 | 2,31018 | 0,0157 | 0,8 | 3,291018 | 0,0137 |
| 7 | 2,311018 | 0,0157 | 0,9 | 3,831018 | 0,012 |
| 9 | 2,311018 | 0,0157 | 0,99 | 6,361018 | 0,0086 |
Омсм
а
На основании полученных данных построим графики распределения примесей вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).
Похожие работы
... с кислородом, восстановлением - отнятие кислорода. С введением в химию электронных представлений понятие окислительно-восстановительных реакций было распространено на реакции, в которых кислород не участвует. В неорганической химии окислительно-восстановительные реакции (ОВР) формально могут рассматриваться как перемещение электронов от атома одного реагента (восстановителя) к атому другого ( ...
... 3. РАСЧЕТ ОБОРУДОВАНИЯ И ПРОЕКТИРОВАНИЕ ОТДЕЛЕНИЯ 3.1 Технико-экономическое обоснование основного, дополнительного и вспомогательного оборудования Основным оборудованием термического отделения для термообработки холоднокатаного листа является агрегат непрерывного отжига. Печная часть агрегата включает многокамерную башенную печь отжига, установки и камеры ускоренного перестаривания и ...
... компонентов над расплавами соединений составляют от двух до нескольких десятков атмосфер; температура плавления большинства соединений превышает 1200° С. 1.3.Получение полупроводниковых монокристаллов соединений типа АIIBVI. Рассмотрев выше изложенные методы можно добавить , что не все соединения типа AIIBVI можно получить одним и тем ...
... которого расположены стержни, перемещающие вверх измельчаемый материал и шары. Конусная дробилка. Шаровая дробилка Для окисной высококачественной керамики используют более экономически выгодный химический метод получения керамических порошков - метод одновременного осаждения нерастворимых осадков. ...
0 комментариев